化學(xué)機械拋光是指利用拋光機、拋光液、拋光布等在一定的工藝條件下實現(xiàn)材料表面高平坦化的加工過程，其中拋光液的供給就需要由固定流速蠕動泵來完成。

蠕動泵所泵送的液體與泵體嚴格分離的結(jié)構(gòu)以及泵管和泵頭可隨時更換的特點，使得在化學(xué)拋光過程中，固定流速蠕動泵應(yīng)用的優(yōu)勢非常明顯。

（1）無污染：在化學(xué)拋光過程中，蠕動泵輸送的拋光液始終在泵管內(nèi)流動，不接觸泵體，尤其是不與機械傳動機構(gòu)接觸，避免了化學(xué)機械拋光過程中的金屬污染，同時也不會由于拋光液的腐蝕性損壞泵體的機械元件。

（2）具有自吸能力：固定流速蠕動泵在工作過程中，可產(chǎn)生足夠的真空吸力將拋光液從夜池中吸到蠕動泵泵管中，從而可免除前期灌泵和吸入管充水過程。這也免除了淹沒充水的需要，因此不再需要將泵置于液體源液面以下，使泵的安裝位置變得更加靈活，與拋光機本身更好的融為一體。另外，蠕動泵中充水不會流失，因此可免除無謂停機。

（3）操作簡便：流量型蠕動泵的操作非常簡單，開箱取出即可使用。泵頭的安裝只需要用手旋螺釘幾分鐘內(nèi)即可安裝好，泵管的安裝、拆卸、鎖緊可根據(jù)要求隨時進行，不需要任何工具。另外，蠕動泵控制簡單，用撥號盤或小鍵盤即可進行轉(zhuǎn)速控制，通過直觀易懂的菜單方式來編程控制較為復(fù)雜的任務(wù)。另外根據(jù)不同的流量要求也可一個蠕動泵同時連接2-3個泵頭，實現(xiàn)拋光液的多路供給。

（4）固定流速：蠕動泵在進行液體傳輸?shù)倪^程中，可以通過調(diào)速器進行調(diào)速，速度調(diào)節(jié)好以后可以固定住流速，讓拋光的過程中避免沖水過多過少，讓液體傳輸更穩(wěn)定，拋光出來的面更平滑。